实验名称:椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(一(2)
2013-08-19 01:04
导读:nbsp;168.58 O157.54 O11.42 O67.54 O11.56O67.52 O △=134.96 O 和 Ψ=11.56O 将以上参数输入计算机得: 折射率N1=2.34; SiO2样品(周期)厚度:D1=140.66 ,D2=1617.89 ,D3=30
nbsp;168.58 O 157.54 O 11.42 O 67.54 O 11.56O 67.52 O
△=134.96 O 和 Ψ=11.56O
将以上参数输入计算机得:
折射率N1=2.34;
SiO2样品(周期)厚度:D1=140.66Å ,D2=1617.89Å ,D3=3095.138Å 。
2.对Si的数据测量与公式计算:
参量 A1 P1 A2 P2 A2’ P2’
Si 10.56 O 67.50 O 167.52O 170.00O 12.48O 80.00 O 11.52O 73.75O
△=132.4O 和 Ψ=11.52 O
将以上数据代入公式:
得:
n1 = N –iNK =3.23-0.31i