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一种静电驱动可调电容器的设计

2014-01-07 01:15

全部作者： 李飞 第1作者单位： 北京邮电大学 摘要： 本文主要是介绍1种新的可调电容器的设计。这种可调电容器采用静电驱动金属膜的原理工作，与1般的只有单极板可动的可调电容器相比，这种结构的不同之处在于采用1些复杂的制作工艺，制作出电容两块极板均可动的可调电容器。这种结构包括两层可动金属板，下层金属板上覆盖1层薄的绝缘层，防止两层金属膜发生接触粘连。上下两层可动板之间留有1定厚度的空气隙，金属板在这个区域内可以活动。 关键词： 微电子机械系统、可调电容器、平行板电容器 (浏览全文) 发表日期： 2007年12月28日 同行评议：

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