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新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究

2014-02-23 01:02

全部作者： 张文栋 胡杰 薛晨阳 熊继军 张斌珍 第1作者单位： 中北大学电子与计算机科学技术学院，太原（030051） 摘要： 本文研究了1种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构,该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Ga0.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构. 加速度计的压敏元件和悬臂梁的加工分别利用空气桥工艺和控制孔工艺。对加工出来的加速度计结构进行振动台实验,初步测得传感器的灵敏度为7.6mV/g，线性度为0.16％. 关键词： 加速度计;共振隧穿薄膜;双空气桥工艺;控制孔工艺 (浏览全文) 发表日期： 2007年12月25日 同行评议：

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