| 论文首页哲学论文经济论文法学论文教育论文文学论文历史论文理学论文工学论文医学论文管理论文艺术论文 |
全部作者： 张义恺 第1作者单位： 北京邮电大学自动化学院 摘要： 本文研究的金属接触型RF MEMS开关由悬臂梁，驱动电极，金属触点等部分构成。基于微波、材料和机械设计因素的考虑，本次设计选取了氮化硅作为悬臂梁的材料，以保证有材料具有良好的机械特性和化学稳定性。并选择金作为接触金属，是由于金在稳定性和导电性方面的优势。悬臂梁为PECVD制作的氮化硅薄膜,聚酰亚胺作为牺牲层,运用等离子体刻蚀法释放牺牲层。研究了悬梁、电极的制作工艺,并分析了牺牲层的制作和刻蚀工艺对开关结构的影响，并对开关进行失效分析。 关键词： 微机电系统，射频开关，阈值电压，失效 (浏览全文) 发表日期： 2007年07月23日 同行评议：
作者应当通过实验来验证其设计的正确性,可是其并未做实验,没有在实验中修正其设计,理论分析不准确.
综合评价： 修改稿： 注：同行评议是由特聘的同行专家给出的评审意见，综合评价是综合专家对各要素的评议得出的数值，以1至5颗星显示。