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影响半导体工业最新的法规与标准

2016-03-24 01:06
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摘要: 本文主要告知读者影响半导体工业最新的法规与标准最新的变革,我们将涵盖典型的法规、工业标准、国家防火协会(NFPA)标准和最近火灾试验的发展情形。 关键词: 半导体工业 建筑法规 工业标准 NFPA标准 本文主要告知读者影响半导体工业最新的法规与标准最新的变革,我们将涵盖典型的法规、工业标准、国家防火协会(NFPA)标准和最近火灾试验的发展情形。一个晶圆厂的单位面积建造成本不断创新高。从过去20年来发生第一个火灾案例至今,最近五年内的灾例尤其重要。除了近几年远东地区两个洁净室被大火烧毁外,所有被摧毁的仍不是现在洁净室所关心的话题。大部分新的FAB有装设基本的洒水系统来保护,过去也常不定期发生小火,也很快复原。虽然今天火灾很少发生,但损失都高达数千万元。复原时间越来越长,商机中断损失也快速增加。最小的火灾会中断作业,导致人员疏散。被烟污染的洁净室,可预见必须清洗人员逃生时所穿的服装;也必须清理被烟所污染的零件和设备;并需重新稳定和校正大部分的机台,这些工作都需花数天来完成。因此有相当多的火灾法规与标准应用在高度管理的半导体工业,并不令人惊讶。最近很多法规与标准的变革对新FAB的建造和已运转的新旧FAB产生冲击,这些更新版本有半导体设备和材料国际指引(SEMI);S14
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