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CZ硅中间隙铁沾污的沉淀规律

2013-05-29 01:14

全部作者： 曾俞衡 席珍强 杨德仁 第1作者单位： 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室 摘要： 铁琌趾い程盽见邯魇舄gγAb趾いH间回态A蝋X蔨㎝↖锗桅ˇsbC誹и们┮尽AH们对铁↖锗含悒sD璶栋いb区翰趾WC对_僵灾氦ぬ↖锗︽为}ぃQだ睲贰Cセゅ硄过悒s僵缘ゴ怪氦う奂浠靥浓转罕浃评船悒s铁酣I锗规摺C и们发现炊硄僵缘ゴ怪氦ぬ↖锗规呦缘郅＆P_区翰趾い禾↖锗规摺C僵缘ゴ怪氦ぬ酣I锗硉瞯随着热处瞶温转氦砂τ糤[Aぃsb着程j硉瞯酣I锗温住A}B硄过Ham猭则进︽拟XA发现僵缘ゴ怪氦ぬ酣I锗扩床睢A↖锗位e次状A这愆僵缘ゴ怪禾酣I锗规呱O间回瘳酃丿食处彻亍C进@˙悒s愆A间回铁]会玃进间回癃酣I锗C 关键词： Ham猭则A扩床睢Amicro-PCDASIRMAFTIR (浏览全文) 发表日期： 2006年10月30日 同行评议：

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