全柔性机构是一种新型机构，通过采用免安装、(2)

　　3 试验验证

　　采用中走丝电火花数控线切割机床加工桥式微位移放大机构。材料选择65Mn，柔性铰链的间距ly＝3.0(mm)。
　　压200V，标称位移为65μm，回零误差≤0.05μm。压电陶瓷驱动电源为CETC 第26 研究所的DWY-3 型微位移器驱动电源，电源输入电压为220VAC，外部输入电压为0~5V，输出电压为0~300VDC，输出电压纹波＜50mv，分辨率为0.1V。微位移检测装置为日本KEYENCE 公司的LK-30 型激光位移传感器，测量范围为±5mm，分辨率为F.S.*±0.05%，重复精度为0.05μm，采样频率可高达50KHz。

　　4 结论

　　本文主要分析了桥式微位移放大机构的运动学特性，利用对称性建立了数学模型，并采用弹性梁理论推导了桥式微位移放大机构的位移输出公式，进而可以得到其位移放大比公式；采用有限元分析软件进行仿真分析并与理论模型进行比较，重点分析了柔性铰链间距ly的不同尺寸参数对桥式微位移放大机构位移放大比的影响；最后设计加工了一个实验样件，通过实验对比验证了理论模型的可行性。这些工作为深入研究大位移全柔性微位移机构的特性，从而实验对其机械结构的优化设计，提高其综合性能等方面提供了较为重要的理论意义和实用价值。

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