影响半导体工业最新的法规与(2)
2013-09-25 01:07
导读：2-1.2.9.2节 机台连接风管处如使用金属或是认证过的材质，此处可以免设Fire Sprinkler. 3-1.2节 在补充空气处理器（MAU）和循环空气处理单元（RAU）需装设UL9
2-1.2.9.2节 机台连接风管处如使用金属或是认证过的材质，此处可以免设Fire Sprinkler. 3-1.2节 在补充空气处理器（MAU）和循环空气处理单元（RAU）需装设UL900等级I的过滤网（Filters），例外，如依照2-3节在最后一个过滤器的下游装设侦烟器时，可使用UL900等级II的过滤网（Filters）。 3-3.4节 风管贯穿防火结构，在防火墙两侧的防火结构延伸距离，选择六呎或两倍管径中较大者。 3-5-5节 烟排放系统的设计是很复杂的过程，需根据洁净室本身布局和可容忍的火灾大小及仔细地整合空气处理系统与排气系统。 6-4.2节 提供在一个抽气的密闭空间内硅甲烷的平均浓度图，及通过限流孔的硅甲烷流量对照表。 6-6.2节 每当容许制程兼容性时，次大气压渗杂气体系统应可用来取代高压钢瓶易燃性气体系统。 7-1.7节 在大量的硅甲烷（Bulk Silane）设置时，每一管状槽车需有CG4形式的泄压阀。 8-4.1和8-4.2节 使用独立电子式水加热器和电子式加热化学池（Bath）需要有接地失效断路器，温度控制器，低液位侦测器，过热侦测器等保护装置。 8-5节机台应为不可燃。例外1包含所有小零件；例外2经表列可以接受的材质，可不使用内部火灾侦测与抑制系统；例外3允许使用像火灾洒水或侦测和抑制的其它控制方法。 FM 4910洁净室材质易燃性测试协议 材质火灾危害评估的指引，系利用三个小尺寸实验和一个大尺寸确认实验。小尺寸实验装置包含火灾产物收集器和资料估算设备，这些实验有点燃实验、火焰传播实验、燃烧实验。 根据三个小尺寸实验可求得每一个材料下述指标值： 1.火焰传播指标（Fire Propagation Index，FPI）：代表材料表面火焰传播容易与困难度，FPI值小于等于6表示为非传播材料。 2.烟产生指标（Smoke Development Index，SDI）：此指标是FPI与烟产生率相乘的结果，代表火焰传播期间预期烟的释放率，SDI小于等于0.4表示烟产生量受限制。 可上网查询FM4910认证材质。
