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介观压阻效应及器件研究

2014-08-11 01:07

全部作者： 张文栋 熊继军 薛晨阳 张斌珍 仝召民 第1作者单位： 中北大学信息与通信工程学院 摘要： 介绍了GaAs/AlAs/InGaAs双势垒超晶格薄膜结构的介观压阻效应以及几种基于此效应的新型传感器件。阐述了介观压阻效应的4个过程，结合空气桥结构和欧姆接触技术，在[001]晶向半绝缘GaAs衬底上加工出来了GaAs/AlAs/InGaAs共振隧穿结构（RTS），并对其进行了加压试验研究，发现其介观压阻灵敏度达到2.54×10-9 Pa-1，是硅压阻灵敏度的1个数量级以上。采用控制孔技术成功加工出了基于RTS的圆膜压力、4梁加速度和仿生矢量水声3种新型纳机电器件，并分别对其进行了压力罐、振动台和水下驻波测试。结果表明圆膜压力传感器具有较好的力电耦合特性；4梁加速度计的压阻灵敏度随RTS两端偏置电压可调，并在微分负阻（NDR）区具有最大压阻灵敏度；矢量水听器具有良好的“8”字余弦指向性，灵敏度在1000Hz时达到-184.6dB，可以实现水平面内的水下声信号探测。 关键词： 介观压阻效应，共振隧穿结构，纳机电 (浏览全文) 发表日期： 2007年12月14日 同行评议：

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