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电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究

2013-05-31 01:08

全部作者： 郭小立 唐天同 第1作者单位： 西安交通大学 摘要： 本文采用波动电子光学的图像理论来研究高分辨电子光学系统的电子束斑电流密度分布。利用波像差概念和电荷密度的旁轴展开式，修正旁轴轨迹和透镜的球像差系数来考虑空间电荷效应。考虑了电子源的空间电荷和部分相干性，利用光学传递函数的傅立叶-贝塞尔变换获得点扩散函数。 关键词： 电子束，电流密度分布，束斑尺寸，空间电荷效应，热初速，波动电子光学 (浏览全文) 发表日期： 2006年10月29日 同行评议：

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