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溶胶凝胶法制备掺锑二氧化锡薄膜的光电特性和

2013-11-30 01:34

全部作者： 张道礼 邓志兵 张建兵 陈良艳 赵岚 第1作者单位： 华中科技大学电子科学与技术系 摘要： 以金属无机盐SnCl2?2H2O和SbCl3为原料，用sol-gel法在普通的载玻片基底上制备了掺Sb的SnO2透明导电薄膜。薄膜在70oＣ干燥，400~550oＣ进行热处理。使用U-3310紫外可见光分光光度计对其光学透光率进行测试分析，薄膜具有80~90%的可见光透光率。使用从XRD衍射图来看锑掺杂SnO2薄膜具有和纯的SnO2薄膜1样的金红石结构，并用显微镜观察了薄膜。分析了锑掺杂的浓度、烧结温度以及拉膜的次数对薄膜性质的影响。 关键词： 锑掺杂2氧化锡薄膜 溶胶-凝胶法 透明导电薄膜 电学和光学性能 (浏览全文) 发表日期： 2006年08月31日 同行评议：

1、掺杂2氧化锡薄膜已有很多研究报导，本文参考文献引用需给出重要的原始文献，合成方法方面也应给出原始的英文文献（Thin Solid Films 1996）。 2、文章中文字错误较多，如“Sb”在引言中作者写为“Sib”，1些下标也不对；图6（b）的标尺未给出；英文摘要不够规范，建议重写。而图8则写为图6。 3、文中对晶粒变化对电阻率的解释前后矛盾，第3页中认为“晶粒趋于完整、致密，晶界相减少，从而减小了自由载流子迁移散射率，电子迁移率增大，导电性提高”，而在第4页中认为“晶粒随热处理温度的提高而长大，使得载流子迁移时受到晶界散射作用而导致迁移率降低的效应减少......”。 4、文章创新性不够，与他人已报导的研究成果相比并无先进的地方。

综合评价： 修改稿： 注：同行评议是由特聘的同行专家给出的评审意见，综合评价是综合专家对各要素的评议得出的数值，以1至5颗星显示。