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无源零差偏振激光干涉仪的误差研究

2014-01-11 01:13

全部作者： 杨军 吴冰 刘志海 苑立波 第1作者单位： 哈尔滨工程大学理学院 摘要： 基于偏振光的琼斯矩阵理论，研究了用于纳米测量的偏振干涉仪的误差产生原因和作用机理，目的是为偏振干涉仪光学元件的选择、光路的调整及其误差的补偿提供依据。理论研究表明，由于元件性能的不理想和调整的不完善使光束偏振态产生退化是导致干涉仪测量误差的主要原因，其中以波片的差模延迟角误差最为明显。基于偏振移相技术的无源0差激光干涉仪其特征是输出4路相互正交的干涉信号。利用此特点，通过对元件的严格筛选和精细调整，并且选用差动信号处理方案，以使干涉仪满足纳米测量的要求。 关键词： 激光；偏振干涉；正交信号；误差 (浏览全文) 发表日期： 2006年07月07日 同行评议：

1. 引言，郭彦珍等人讨论0差干涉仪误差的情况[12]，但没有分析时没有考虑采用偏振移相技术的4路接收装置。（语句修改） 2. 偏振激光干涉仪被消偏振分光棱镜NPBS 均匀的分成两束 （这里NPBS 应为非偏振分光棱镜）。 3. 偏振片误差分析，图4 所示为ε P 、α P 、δ 分别连续变化时干涉仪的误差函数 f（ Δφ ,δ ,α P ,ε P ）的特性。（这里图4应改为图5）。 此外，误差分析讨论中，若能增加对基于偏振移相技术的4路接收方案与其它技术或其它方案的比较可能更充实。

综合评价： 修改稿： 注：同行评议是由特聘的同行专家给出的评审意见，综合评价是综合专家对各要素的评议得出的数值，以1至5颗星显示。